Многочисленные измерительные задачи для всех типов полупроводниковых устройств и МЭМС на всех этапах производства

FRT GmbH является одним из ведущих мировых поставщиков неразрушающей оптической 30-метрологии для научно-исследовательских учреждений и на крупносерийные производства микроэлектронных устройств. Оборудование успешно используется для контроля качества в научных разработках и производстве.

Приборы могут быстро, эффективно и интуитивно выполнять широкий спектр задач измерений для полупроводниковых приложений, 3D IC, Advanced Packaging, MEMS, VCSEL, машиностроения, оптики, медицины и многих других областей.

Сверхстабильная платформа третьего поколения и мощное программное обеспечение — результат более чем 25-летнего опыта. Конструкция приборов основана на мультисенсорной концепции, что обеспечивает многообразность их применений. Как глобальный и надежный бизнес-партнер мы осуществляем международное сервисное обслуживание и поддержку, в т.ч. на русском языке, сопровождаем клиентов на протяжении всего периода сотрудничества, начиная с формулировки задачи, тестовых измерений, возникновения новых производственных вопросов или вызовов.

Разнообразие выбора оптических 30-датчиков, модульная мультисен- сорная концепция FRT, а также гибридная метрология расширяют возможности производственных линий по всему миру. Измерительные приборы FRT позволяют быстро и точно определять шероховатость, контур, топографию, толщину изделия, TTV, толщины слоев, изгиб и деформацию, напряжение, TSV, канавки, совмещение, CD, скрытые структуры в срощенных пластинах и включения в подложке, дефекты и многие другие параметры поверхности, задавая новые индустриальные стандарты.

Новая эра

Январь 2020 г. ознаменовал начало новой эры для FRT. Компания добавила в свой ассортимент оборудование для инспекции дефектов. Новая разработка была создана для удовлетворения потребности заказчиков в инструменте, объединяющем метрологические и инспекционные возможности в одном приборе.

Конфигурация данной системы зависит от типа и размера исследуемых дефектов, а также от требуемой производительности. Модульная система способна обнаруживать дефекты с латеральным размером до нескольких сотен нм. Система состоит из нескольких модулей, которые могут быть гибко объединены на одной универсальной инструментальной платформе. В частности, оптический контроль и классификация дефектов осуществляются модулем single-shot — для моментальной 20-инспекции всей пластины, пошаговым модулем step module — для 20-инспекции структурированных пластин, микроскопом высокого разрешения для инспекции дефектов до нескольких сотен нм, а также комплексной мультисенсорной метрологией с различными ЗО-датчиками топографии и измерения толщин слоев.

Система позволяет увеличить производительность, благодаря быстрому поиску грубых дефектов инспекционным модулем, и в случае обнаружения проблемных мест, осуществить более детальное исследование с помощью ЗО-метрологии.

Инспекция и обработка внешнего вида кристаллов на пластине ведется при сравнении с идеальным, заведомо годным кристаллом — “golden die”, благодаря чему создается карта годности всей пластины на основе заданных пользователем критериев.

Хроматические датчики (точечные):

• высокое разрешение;
• измерения в точках, профили, картирование;
• черезвычайно гибкие настройки;
• быстрые измерения больших площадей.

Датчики площади (конфокальный микроскоп, интерферометр):

• очень высокое разрешение;
• увеличение площади функцией сшивания;
• быстрые измерения на небольших площадях.

Атомно-силовой микроскоп (ACM):

• сверхвысокое разрешение в субнанометрах;
• прост в использовании

Датчики толщины пленок:

• высокое разрешение;
• измерения больших площадей;
• измерение толщины многослойных структур
• тонкие и очень тонкие пленки.

FRT GmbH Germany

Tel: +49 2204 84-3213

Fax: +49 2204 84-2431

info@frtmetrology.ru

www.frtmetrology.com